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光纤耦6轴台
行业类别：
信息通信展
产品范围：
半导体设备及制造
应用领域：
光通信、信息处理/存储,先进制造,半导体加工/制造,安防/国防,传感及测试测量,科研院所及高校
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光纤耦6轴台 全压电马达驱动，纳米精度，极高位置稳定性，光栅闭环反馈，结构紧凑
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