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大口径光学元件缺陷检测系统
行业类别：
光电子创新展
产品范围：
高等院校
应用领域：
先进制造,半导体加工/制造,安防/国防,传感及测试测量
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产品介绍:
围绕“如何高效获取宏观范围内随机分布的微纳缺陷”的科学技术问题，提出并实现了光致发光多模态成像高分辨检测方法、自适应扫描策略及智能拼接方法等创新技术，研制的系列化缺陷检测高端装备成功应用于我国激光聚变大科学工程。
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