参展商
参展产品
行业类别
应用领域
展馆图
化合物半导体晶圆表面缺陷检测仪
行业类别：
光电子创新展
产品范围：
高等院校
应用领域：
先进制造
我要参观
邀请函
产品图片:
产品介绍:
面向第三代半导体晶圆，如碳化硅（SiC）、氮化镓（GaN）等材料衬底和外延片的缺陷快速检测需求，团队自主完成了化合物半导体晶圆缺陷分析仪的研发，融合Surface模式、移频模式和PL模式，可保证对表面和亚表面缺陷的高灵敏多通道并行检测需求，系统的检测灵敏度达到60 nm量级，缺陷检测深度达到100 μm以上，缺陷的检出率达到95%以上，可满足相关晶圆衬底生产厂、芯片制造厂和相关科研院所的生产和工艺提升要求。
展商信息:
展 区：
展 馆：
展位号：
主营产品：
展商信息
我要咨询
*
姓名：
*
公司：
*
手机：
*
邮箱：
*
洽谈日期：
请选择
9月10号上午
9月10号下午
9月11号上午
9月11号下午
9月12号上午
*
咨询描述：
*
图形验证码：
