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产品介绍:
键合晶圆尺寸：4英寸、6英寸、8英寸；
最大压力：10kN、20kN. 30kN （大压力可定制）；
压力均匀性：±5%；
温度范围：可升至450℃（高温可定制）；
温度均匀性：±2%；
极限真空：1x10⁻³Pa；
其他：可根据客户需求定制
最大压力：10kN、20kN. 30kN （大压力可定制）；
压力均匀性：±5%；
温度范围：可升至450℃（高温可定制）；
温度均匀性：±2%；
极限真空：1x10⁻³Pa；
其他：可根据客户需求定制
