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磁控溅射镀膜机
行业类别：
精密光学展&摄像头技术及应用展
产品范围：
光学镀膜技术及设备
应用领域：
消费电子/娱乐,半导体加工/制造,安防/国防,传感及测试测量
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产品介绍:
此磁控镀膜系统为单室双靶磁控溅射镀膜设备，主要用磁控溅射的方法制备金属膜，半导体 膜，陶瓷膜，介质复合膜及多层膜和其它化学反应膜及掺杂膜，铁磁性薄膜等。每个靶位可根据需 要选用直流溅射、射频溅射，能够实现不停机的情况下，在样品上连续独立溅射，轮流溅射。主要 由溅射室、磁控溅射靶、直流电源、射频电源、样品加热转台、泵抽系统、真空测量系统、电控系 统、气路系统等组成。主要部件采用国外一级品牌，次要部件采用国内一级品牌，确保整体性能稳 定.
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