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沉积镀膜设备（ALD）
行业类别：
精密光学展&摄像头技术及应用展
产品范围：
光学镀膜技术及设备
应用领域：
光通信、信息处理/存储,消费电子/娱乐,先进制造,半导体加工/制造,安防/国防,能源,照明/显示
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产品介绍:
1、应用领域：晶体管栅极介电层和金属栅电极；微电子机械系统（MEMS）；光电子材料和器件；集成电路互连线扩散阻挡层；平板显示器（有机光发射二极管材料，OLED）；互连线势垒层；互连线铜电镀沉积籽晶层（Seed layer）；DRAM、MRAM介电层；嵌入式电容；电磁记录磁头；各类薄膜（<100nm）等领域。 2、工作原理：原子层沉积是一种可以将物质以单原子膜形式一层一层的镀在基底表面的方法。
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