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Strip去胶系列设备
行业类别:
精密光学展&摄像头技术及应用展
产品范围:
光学镀膜技术及设备
应用领域:
光通信、信息处理/存储,半导体加工/制造,能源,传感及测试测量,照明/显示,科研院所及高校
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产品介绍:
单腔单片或两腔Twin wafer去胶设备,配置高精度传送手臂,电感耦合等离子体源,高精度控温热板模块等。具有操作简单、占用空间小,产能效率高,耗材成本及运营成本低等优点。广泛应用于4英寸~8英寸硅基/碳化硅/氮化镓/砷化镓等产线的去胶。
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