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晶圆翘曲应力测量仪
行业类别：
精密光学展&摄像头技术及应用展
产品范围：
光学测量仪器
应用领域：
半导体加工/制造
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产品介绍:
晶圆翘曲应力测量仪Stress Mapper具备晶圆三维翘曲（平整度）、薄膜应力、宏观缺陷成像等检测功能，适用于半导体晶圆生产、半导体制程工艺开发和玻璃及陶瓷晶圆生产，以简单、精确、快速、可重复的测量方式，对各种晶圆的表面进行一次性非接触全口径均匀采样测量，另可附加晶圆加热循环模块。
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