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内应力检测仪

行业类别:
精密光学展&摄像头技术及应用展
产品范围:
光学测量仪器
应用领域:
消费电子/娱乐,先进制造,半导体加工/制造

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产品介绍:

晶圆内应力检测仪(SV200)具备透光材料内应力分布测量及缺陷筛查等检测功能,高分辨率显现化合物晶圆材料的生长缺陷(如位错、微管等),基于双折射应力测量模型实现应力瞬时测量,显示应力二维分布伪彩图,采用双远心检测光路,实现高精度测量相位延迟。

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