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RTP/UV设备
行业类别：
精密光学展&摄像头技术及应用展
产品范围：
光学镀膜技术及设备
应用领域：
光通信、信息处理/存储,半导体加工/制造,能源,传感及测试测量,照明/显示,科研院所及高校
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产品介绍:
单腔快速退火设备，配置高精度传送手臂，高精度控温热板模块，配置真空系统及Gas系统。具有操作简单、占用空间小，耗材及运营成本低等优点。广泛应用于4英寸~8英寸硅基/碳化硅／氮化镓等产线的快速退火工艺。 单腔紫外固胶设备，配置高精度传送手臂，旋转式紫外灯源。具有操作简单、占用空间小，耗材及运营成本低等优点。广泛应用于4英寸~8英寸硅基/碳化硅／氮化镓／砷化镓等产线的固胶工艺。
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