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(1). LithoTrac DUAL-1000 (3合1组合旋涂、曝光、显影系统): 配备旋转涂佈机, 旋转显影机, 烘烤盘, HMDS 烘烤板, 减压干燥机, 晶圆箱台, 自动搬运机械人. (2). RDA光刻胶 / 原材料树脂溶解率 (显影特征)分析仪: (a). 量度溶解率（DEVELOPMENT RATE） (b). 用内置LEAP SET® 软件分析出MACK MODEL数据 (c). 获得的参数, 可利用德国GenISys LAB 模拟软件仿真成形效果

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