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参展商 参展产品 行业类别 应用领域 展馆图

SPECTORTM HT 高产能离子束溅射镀膜机

行业类别：
精密光学展&摄像头技术及应用展
产品范围：
光学镀膜技术及设备
应用领域：
我要参观 邀请函

产品图片:

产品介绍:

Veeco SPECTOR HT“dual ion beam assisted deposition (DIBAD)”是根据双离子源溅射原理，采用全自动控制的薄膜沉积系统。本系统使用了两个高质量的RF 射频离子源进行沉积以及辅助沉积，同时还能给镀膜的样品提供预清洗。无论在惰性气体或者活性气体（如氧气等）环境中，无灯丝的RF射频离子源以及RF射频中和器都能提供最洁净，最稳定的高能离子源束流。

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