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“天玑”系列--IBS离子束溅射镀膜设备
行业类别:
精密光学展&摄像头技术及应用展
产品范围:
光学镀膜技术及设备
应用领域:
光通信、信息处理/存储,消费电子/娱乐,先进制造,半导体加工/制造,安防/国防,能源,传感及测试测量,照明/显示,医疗 ,科研院所及高校
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产品介绍:
博顿光电“天玑”系列,IBS离子束溅射镀膜设备 产品特点: 1.低散射值和缺陷密度; 2.标准基片尺寸可达Ø230mm; 3.工件架均匀度在±0.5%以内; 4.可实现无修正板沉积,缺陷低; 5.适用大尺寸产品镀膜工艺; 6.镀膜材料多种多样。 工艺应用: 激光减反膜、激光高反膜、窄带滤光片、分光滤光片、截止滤光片、介质反射膜、金属/介质反射镜。 应用领域: 激光、光通讯、医疗、显微镜、传感器、MEMS等。
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