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产品介绍:
据客户需求,可在不同材质、形状的基材,完成单层或多层功能性薄膜的镀制(金属膜、反射膜、导电膜、非导膜及半透膜等)。该设备可同时完成离子轰击清洗、功能膜及保护膜(CVD)的镀制,该设备可实现自动化控制,操作简便,生产效率高,结构紧凑,设备稳定,绿色环保,且具有膜层附着力、膜层品质、均一性良好等优点。
该设备工件采用公转的传动方式,配合定制夹具,能最大限度完成异形基材的镀膜需求,且可同时装配多种靶材,以应对复合膜层镀膜需求。可为客户提供镀膜设备及镀膜工艺的全套技术解决方案。
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