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纳米压印设备及超大尺寸匀胶、清洗、显影设备
行业类别:
光电子创新&新型显示创新技术展
产品范围:
其它||微纳米加工设备
应用领域:
光通信、信息处理/存储,消费电子/娱乐,先进制造,半导体加工/制造,安防/国防,能源,传感及测试测量,照明/显示,医疗 ,科研院所及高校
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产品介绍:
瑞典Obducat公司为您提供Eitre系列手动/半自动纳米压印设备,最大压印面积可达500mmX500mm;Sindre系列全自动压印设备,最大压印尺寸直径300mm晶圆;以及各类超大尺寸(直径300mm以上)晶圆的旋涂、清洗和显影设备,尤其适用于各类方片及异形片的湿法工艺产品线。最大加工晶圆直径可达1800mm。
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