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SemDex M1型晶圆厚度测量系统是德国SENTRONICS半导体公司一款高性能的半自动晶圆厚度测量系统,该系统可集成红外光谱干涉测量技术,光学干涉技术及光学反射技术探头,广泛用于半导体晶圆生产,前道,后道到晶圆级封装领域,SENTRONICS以其精准的测量能力,非接触的测量方式,快速的测试速度,上下双探头符合SEMI标准的测试方式,使得该设备在半导体,MEMS,在化合物外延领域晶圆厚度测量拥有很高的市场占有率,在全球半导体行业已经有200多个Fab工厂已安装该系统。
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