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产品介绍:
立式连续PVD镀膜设备应用于玻璃表面光学膜层和金属及陶瓷基材表面功能膜层的制备,实现反射、增透等光学产品;导电、耐磨、防腐蚀等功能涂层产品的大规模连续化生产。技术组合灵活,可配置等离子刻蚀、磁控溅射、阴极电弧等各项技术,实现基材表面处理和不同的镀膜工艺,适用各类金属、金属化合物、炭系涂层;立式结构形式,设备的占地面积小,设备内多重洁净防护,实现优异的颗粒控制,提高膜层质量;精确的载板连续传送系统,实现精确的生产节拍控制,以及行进过程中的载板间隙控制技术,提升材料的收集率,减少溅射靶材浪费
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