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气浮XY展机
行业类别：
激光技术及智能制造展
产品范围：
高端智能装备
应用领域：
先进制造,半导体加工/制造,传感及测试测量
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产品介绍:
简介： QF系列气浮直线电机平台是汉诺科技推出的纳米级超高精密运动平台。采用进口气浮模块，具有高阻尼、高刚性(气浮刚度可达150N/μm)，气浮面为天然花岗岩表面，保证运动平面度及直线度。自主研发磁性预压设计，提升其稳定性，抗外界干扰解决气浮弊端。动力采用悬浮直驱电机，无磁顿力、极佳的速度链波，搭配极小膨胀系数的铟钢尺，一流稳定的重复精度。平台无摩擦损耗、无需润滑、无需维护；
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