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面向可见光波段应用的全铝非球面主反射镜组件
行业类别:
光电子创新&新型显示创新技术展
产品范围:
光学技术及应用,显示屏面板制造设备
应用领域:
先进制造,半导体加工/制造
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产品介绍:
本项目采用全铝轻量化的一体化设计思想,实现了面向可见光应用的全铝反射镜组件的制造。采用单点车加特殊抛光方法的组合加工工艺,突破了铝合金反射镜的超光滑抛光技术,保证金属铝反射镜加工周期短的同时,大大提升了其面形精度和表面质量。对290mm口径非球面纯铝反射镜,最终加工面形精度RMS值优于11nm,反射镜表面粗糙度优于3nm。
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