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SUN-100P系列高分辨率紫外正性光刻胶
行业类别:
激光技术及智能制造展
产品范围:
其它||光刻胶
应用领域:
光通信、信息处理/存储,先进制造,半导体加工/制造,传感及测试测量,照明/显示
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产品介绍:
SUN-100P系列紫外正性光刻胶采用安全溶剂,具有曝光灵敏度高、对比度高、分辨率高、光刻成品率高以及良好的工艺宽度等诸多优点。配方按I-line和G-line光刻优化,金属离子浓度在20ppb以下,可广泛应用于0.35um及以上线宽的IC相关半导体制造工艺。
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