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“天璇” HIT系列--中空阴极霍尔离子源
行业类别：
精密光学展&摄像头技术及应用展
产品范围：
光学镀膜设备
应用领域：
光通信、信息处理/存储,消费电子/娱乐,先进制造,半导体加工/制造,安防/国防,能源,传感及测试测量,照明/显示,科研院所及高校
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产品介绍:
非灯丝型中高端离子源产品，一种全自主研发的新型高端离子源，使用具有专利技术的中空阴极结构与耗材，突破了传统灯丝霍尔离子源只能工作10小时的限制，连续工作时间大大提升到100小时左右，离子束流大、能量适中、适应多种气体环境、发热小、无污染，可极大提升膜层的稳定性、附着力、致密度。在需要连续长工艺、低温冷镀工艺的真空辅助镀膜应用领域优势明显，同时支持根据特定工艺进行定制化设计。
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