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乾曜光学拥有高超的⼤⼝径平⾯、球⾯的加⼯能⼒，可确保⼤⼝径激光干涉仪的高品质。⼤⼝径激光干涉仪有卧式和立式两种结构，卧式⼝径有600mm，450mm和300mm，均是通过扩束形成的双路测量系统：⼩路可以选择100mm（4英⼨）或150mm （6英⼨）⼝径主机，通过转向器在⼲涉仪外扩束到⼤⼝径平⾯测量系统。立式有300mm和400mm两种口径，适用于在样品工作状态进行测量。卧式和立式均可选择机械移相和波长移相测量模式，乾曜光学自研波长调谐激光器保证实现对0.6mm厚度的平行平板多表面分离测量。
