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磁悬浮分子泵
行业类别:
精密光学展&摄像头技术及应用展
产品范围:
光学镀膜技术及设备
应用领域:
半导体加工/制造
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产品介绍:
KYKY一体磁悬浮分子泵,第二代磁悬浮分子泵悬浮技术,集成控制器,洁净无油。 应用领域:半导体设备、硅刻蚀、离子注入、PVD镀膜等。
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