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光学3D轮廓测量仪
行业类别：
精密光学展&摄像头技术及应用展
产品范围：
光学测量仪器
应用领域：
半导体加工/制造,科研院所及高校
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产品介绍:
光学3D轮廓仪是利用光学显微技术、白光干涉扫描技术、计算机软件控制技术和PZT垂直扫描技术对工件进行非接触测量，还原出工件3D表面形貌宏微观信息，并通过软件提供的多种工具对表面形貌进行各种功能参数数据处理，实现对各种工件表面形貌的微纳米测量和分析的光学计量仪器。
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