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C500多腔室Cluster系统

行业类别:
光电子创新展
产品范围:
高新技术企业
应用领域:
光通信、信息处理/存储,消费电子/娱乐,先进制造,半导体加工/制造,安防/国防,能源,传感及测试测量,照明/显示,医疗,科研院所及高校

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产品介绍:

C500是一款通用型多腔室集成系统,功能强大,可扩展性强,稳定可靠,自动化控制程度高,可满足半导体级别的批量生产需求。

展商信息: