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V550反应磁控溅射系统

行业类别：
光电子创新展
产品范围：
高新技术企业
应用领域：
光通信、信息处理/存储,消费电子/娱乐,先进制造,半导体加工/制造,安防/国防,能源,传感及测试测量,照明/显示,医疗,科研院所及高校
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产品介绍:

V550反应溅射系统是一款离子源增强型反应溅射系统，可灵活编辑工艺，反应程度高，膜层损伤小，自动化控制程度高，维护简单，可满足企业和研究所研发小批量生产需求，并可选配多片自动进样室，有效提高生产和研发效率。

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