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全自动减薄机(TFG-3200)

行业类别:
光电子创新展
产品范围:
高新技术企业
应用领域:
半导体加工/制造

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产品介绍:

TFG-3200是一款操作简单、功能丰富的高精度研削设备,设备配置自动厚度测量和补偿系统,通过驱动减薄砂轮高速旋转,自动研削晶圆至目标精度,工作台可定制,兼顾多尺寸晶圆,设备应用广泛。 全自动系:全自动上下片,干进干出的全自动研削系统 功能全面:自动厚度测量 多段研削程序 超负载等待 兼容性好:可磨削各类半导体材料 兼容6&8英寸晶圆减薄 配置丰富:双轴研削单元 三工作台加工

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