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离子束抛光机
行业类别:
精密光学展&摄像头技术及应用展
产品范围:
光学设备
应用领域:
先进制造,科研院所及高校
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产品介绍:
离子束抛光技术是利用离子溅射原理,通过在真空状态下离子源引束产生等离子体能量束流,束流轰击工件表面产生原子级别的材料去除从而实现光学元件的高精度加工。 加工精度面型:PV<10nm,RMS<1nm。 设备功能及应用:离子束面形修形抛光、 离子束刻蚀、离子束减薄。非接触加工,可加工任意形状曲面。去除稳定,确定性加工程度高,亚纳米级加工精度。不产生亚表面损伤。不同硬度的材料离子束加工的去除效率波动小。可修中低频误差,不产生中高频。维护费用低。
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