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氦质谱检漏模块
行业类别：
精密光学展&摄像头技术及应用展
产品范围：
光学镀膜技术及设备
应用领域：
半导体加工/制造
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产品介绍:
氦质谱检漏模块（HDM720）是宜准公司研发的一款全功能型氦质谱检漏核心模块；模块可个性化集成到检漏系统中进行使用，紧凑的尺寸可以节省安装空间，内部的离子倍增放大和干扰屏蔽，让模块运行更加稳定。
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