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220nm SOI硅光晶圆
行业类别：
光电子创新展
产品范围：
科研院所
应用领域：
光通信、信息处理/存储
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产品介绍:
上海工研院利用8英寸硅光工艺平台，在220nm SOI衬底上开发了成套的硅光有源集成工艺，将无源硅光波导及器件、高速调制器、锗探测器进行了单片集成，目前已研制出单波100Gbps的光收发芯片、40通道总速率为1Tbps的光收发芯片，主要应用于光通信领域。
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