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E800D双腔电子束蒸发系统
行业类别：
光电子创新展
产品范围：
高新技术企业
应用领域：
光通信、信息处理/存储,消费电子/娱乐,先进制造,半导体加工/制造,安防/国防,能源,传感及测试测量,照明/显示,医疗,科研院所及高校
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产品介绍:
E800D是一款高性能电子束蒸发系统，上下两个腔室，适合Lift-Off剥离工艺，满足高精度研发和量产需求
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