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快速退火炉（RTP）采用以卤素灯管(Halogen lamp)为加热源，藉由腔体门的自动开、关，通过机械手臂将待处理的晶圆置入于铝合金本体内，操作者设定需求的制程条件，机台即可精准的完成快速升降温的制程。机台控制器为PC-Based、Windows架构下图形操控接口，以便操作者更能简便操控机台使用快速升降温功能，处理GaAs、InP、Si、SiC等晶圆的快速退火工艺，藉由提供合适的热预算进行金属薄膜与基材的合金化，以期形成有效的欧姆接触，达到产品的阻值降低。
