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9NS 高性能催化剂类纯化系统
行业类别:
信息通信展
产品范围:
半导体设备及制造
应用领域:
光通信、信息处理/存储,半导体加工/制造,科研院所及高校
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产品介绍:
先普9NS系列产品是专门为半导体行业所设计的9N高性能纯化系统,用于纯化惰性气体,气体流量从10Nm3/h到20000Nm3/h,纯化后气体中H2O、O2等分项杂质最低可达到ppb级别。
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