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P9 国产POU气体纯化器
行业类别：
信息通信展
产品范围：
半导体设备及制造
应用领域：
光通信、信息处理/存储,半导体加工/制造,科研院所及高校
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产品介绍:
P9系列高性能气体纯化器采用的是常温催化剂技术，通过化学反应和物理吸附相结合的办法在常温下将工艺气体中的H2O, O2, CO, CO2, H2, NMHC等杂质去除到1ppb以下，并且在316L不锈钢罐体中内置了过滤精度为0.003um的颗粒过滤器。
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