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先普 气体过滤器
行业类别：
信息通信展
产品范围：
半导体设备及制造
应用领域：
光通信、信息处理/存储,半导体加工/制造,科研院所及高校
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产品介绍:
先普以多年来为客户提供气体纯化与过滤解决方案的经验，应国内半导体产业国产化需求在2022年推出0.003微米高精度气体过滤器，覆盖流量范围从30slm到10000Nm3/h，适用于晶圆生产，芯片制造，半导体，MEMS，光电，平板显示器等行业以及高纯工艺气体输送和气柜、阀门箱组等。
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