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行业类别：
Information and Communication Expo
产品范围：
半导体设备及制造
应用领域：
半导体加工/制造,传感及测试测量,科研院所及高校
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产品介绍:
SI 500 D具有特殊的等离子体特性，如高密度、低离子能量和电介质薄膜的低压等离子体沉积。圣德公司专有的平面三螺旋天线（PTSA）ICP等离子体源可以实现高效的低功率耦合。
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