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行业类别：
Information and Communication Expo
产品范围：
半导体设备及制造
应用领域：
半导体加工/制造,科研院所及高校
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SI 500代表了研究和生产中电感耦合等离子体（ICP）处理的领先优势。它是基于ICP等离子体源PTSA，动态温度控制的基底电极。
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