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行业类别：
Information and Communication Expo
产品范围：
半导体设备及制造
应用领域：
半导体加工/制造,传感及测试测量,科研院所及高校
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产品介绍:
SI 500 C能够应用广泛的等离子体蚀刻工艺，从普通的RIE到高密度的工艺。 RIE到高密度工艺，特别是在低至-150°C的极低温度下。
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