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Aspen Plus 系列电源

行业类别：
精密光学展&摄像头技术及应用展
产品范围：
光学镀膜设备
应用领域：
先进制造,半导体加工/制造,科研院所及高校
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产品介绍:

Aspen Plus 高性能射频电源采用创新功放设计，提供多级脉冲输出，可快速响应等离子体变化，提升等离子体稳定性，为先进制程提供极佳的稳定性和一致性。

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