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薄膜应力仪FST5000
行业类别：
精密光学展&摄像头技术及应用展
产品范围：
光学测量仪器
应用领域：
光通信、信息处理/存储,半导体加工/制造,照明/显示
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产品介绍:
基于经典基片弯曲法Stoney公式测量原理，采用先进的激光扫描方式和探测技术，以及智能化的操作，使得FST5000薄膜应力仪特别适合于光电薄膜样品的弓高、翘曲、轮廓形貌、曲率半径和薄膜应力测量和计算。 双波长扫描，电动旋转样品台，2D/3D Mapping。
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