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HIL系列晶圆级干涉曝光纳米图形系统
行业类别:
精密光学展&摄像头技术及应用展
产品范围:
AR/VR
应用领域:
先进制造,半导体加工/制造,科研院所及高校
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产品介绍:
HIL系列晶圆级纳米图形系统拥有快速重构装置、图形稳定性调控机制,用于生产纳米级一维二维图案,最小线宽可达40nm,面积可达4寸晶圆尺寸,周期线宽精准调控,是致力于制造高质量晶圆级纳米压印模板或器件的优秀选择,可用于研发及量产的各种纳米图形。 实际样品应用在AR/VR光波导镜片、一维二维光栅等,详情欢迎垂询。
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