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CIL系列紧凑式干涉曝光纳米图案系统
行业类别：
精密光学展&摄像头技术及应用展
产品范围：
光学元件加工设备
应用领域：
先进制造,半导体加工/制造
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产品介绍:
CIL系列纳米图案曝光系统是经济型桌面式简易曝光系统。基于劳埃镜设计，它是全自动的一维、二维纳米图形生产设备，具有周期快速调整、光强自动检测、曝光剂量可调等优点。非常适用于想以低成本快速验证纳米图形的公司、高校及研究所。
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