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产品介绍:
Nano X-3000 3D光学轮廓仪采用垂直扫描干涉和移相干涉技术，实现对样品表面粗糙度、台阶高度、关键部位尺寸及其形貌特征的纳米级三维精密测量。广泛应用于集成电路制程工艺、MEMS、太阳能电池工艺、航空航天、材料表面工程、超精密加工等领域。
● 测量精度重复性高
● 关键硬件采用美国、德国、日本等品牌
● 配备进口第三方校准标准件
● 高性价比微观形貌测量设备
● 迅捷的售后服务
