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等离子增强化学气相沉积系统
行业类别：
信息通信展
产品范围：
光通信芯片
应用领域：
光通信、信息处理/存储,半导体加工/制造,传感及测试测量,科研院所及高校
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沉积各种介质薄膜，具有良好的应力调节和均匀性。
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