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聚芯6000-晶圆级2D+3D精密光学检测量测设备
行业类别：
精密光学展&摄像头技术及应用展
产品范围：
机器视觉及工业自动化
应用领域：
半导体加工/制造
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产品介绍:
MatrixSemi® 6000是聚时科技推出的针对前道和后道晶圆级有图案和无图案精密光学量检测设备，可用于硅晶圆、化合物衬底及外延片的生产制造。支持Wafer、蓝膜片、UV片的检测。同时可覆盖切割后等工艺缺陷检测、Bump/Via量测。
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