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EBPG Plus是一种超高性能电子束光刻系统。这个经过现场验证的非常成功的系列现在已经达到了进一步的发展水平。100kv写入模式和5 nm以下的高分辨率光刻，涵盖了各种纳米制造设施中直接写入纳米光刻、工业研发和批量生产的广泛前沿应用。新系统的集成协调的吞吐量，稳定性，保真度和精度，确保最佳的高分辨率光刻结果的所有性能参数之间的完美交互。

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