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CHIPSCANNER - 大面积扫描电镜成像
行业类别：
Information and Communication Expo
产品范围：
半导体设备及制造
应用领域：
光通信、信息处理/存储,先进制造,半导体加工/制造,科研院所及高校
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产品介绍:
高效、全自动的纳米测量和过程控制与Raith的高精度激光干涉仪台相结合，是Raith扫描电子显微镜精确大面积图像采集解决方案的基础。虽然它对逆向工程应用尤其有价值，但它对任何需要纳米分辨率超过cm²和用于重建的优秀层到层3D精度的应用都是有益的。
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