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套刻精度量测仪
行业类别：
光电子创新展
产品范围：
高新技术企业
应用领域：
半导体加工/制造
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产品介绍:
魅杰光电科技研发的套刻精度量测系列产品，具备全自动套刻量测能力。原理是利用光学显微成像系统获得两层刻套目标图形的数字化图像，然后基于数字图象算法，计算每一层的中心位臵，从而获得套刻误差。并将数据反馈给光刻机，帮助光刻机优化不同层之间的光刻图案对齐误差，其支持4/6/8/12英寸晶圆，支持定制算法。
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