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NESSY

行业类别:
精密光学展&摄像头技术及应用展
产品范围:
光学镀膜设备
应用领域:
半导体加工/制造

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产品介绍:

NESSY 系列是布勒莱宝光学最新一代磁控溅射系统,用于超高真空 (UHV) 镀膜。其独特的双旋转基片系统可以达到超高膜层精度水平,是X射线或极紫外(EUV)光谱范围内反射镜生产的理想工具。镀制的多层膜的反射率与理论值非常接近。极低的单件成本结合其独特的功能,使得既可以用于批量生产,又适用于尖端技术的产品研发。

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