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半导体材料和器件微纳加工
行业类别：
信息通信展
产品范围：
半导体设备及制造
应用领域：
光通信、信息处理/存储,半导体加工/制造
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产品介绍:
半导体材料和器件微纳加工：GaAs基或InP基量子点、量子阱材料的分子束外延代工；紫外光刻、电子束光刻、RIE刻蚀、ICP刻蚀、PVD镀膜、CVD镀膜等微纳加工工艺的代工；以及对应的检测和表征。
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